电子束光刻,电子束曝光机

电子束光刻 – 概述
电子束光刻不过是用电子束取代了短波长的光,技术更超前
电子束光刻系统与工艺pdf51页
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beam lithography)指使用电子束在表面上制造图样的工艺,是光刻技术的