紫外超分辨光刻机,紫外光刻机

asml光刻机由超10万零件组成,90%依赖进口,为什么还能
国产高端光刻机,成果可期
前天天中科院光电所研发成功的紫外超分辨光刻机被大媒体争相报道
单面紫外光刻机
买下70台euv光刻机,中国芯片巨头再次领先,三星反超希望渺茫