极紫外光,

镓敏光电国际首发宽禁带半导体euv极紫外探测器
euv是极紫外光(extreme ultraviolet)的缩写,这是一种波长极短的光
阿斯麦nxe3400极紫外光刻机内部结构 图片来源:公司官网
三星电子首次尝鲜"纯euv极紫外光刻"生产线
曝光方式:紫外线,x射线,电子束,极紫外光关键技术参数:最小可分辨图形