双频激光干涉仪原理图,激光干涉仪原理图

图2是如今的双频激光干涉仪框图.它由7个部分构成.
激光干涉测长仪
基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪
原创基于激光诱导前向转移的单脉冲激光干涉图像纳米点阵列沉积法
反射式相位正交单频激光干涉测量装置及测量方法