碳化硅晶片生产过程,碳化硅晶片

碳化硅外延晶片的制造方法及制造装置与流程
碳化硅外延晶片及其制造方法技术
(gan)基的外延片,这个过程主要是在金属有机化学气相沉积外延片炉
中国成功研制国产6英寸碳化硅晶片 年产7万片
英飞凌工厂用新半导体材料碳化硅生产晶片