碳化硅晶锭,碳化硅衬底

一种降低晶体缺陷的碳化硅单晶制备方法
英飞凌携手gtat 扩大碳化硅供应
上海硅酸盐所低缺陷密度直径100mm碳化硅晶体实现批量生产
上海硅酸盐所碳化硅晶锭制备与晶圆片加工研究和技术研发跃上新台阶
中国科学报硅酸盐所研发出4英寸碳化硅单晶