碳化硅晶体生长工艺,碳化硅晶体

气相法生长碳化硅晶体
本发明涉及到碳化硅晶体生长领域,具体涉及一种碳化硅晶体的籽晶及
籽晶处理方法及碳化硅晶体生长方法技术
pvt法和htcvd法生长碳化硅晶体原理图如图2所示.
切割工艺对比 碳化硅晶体