mems气体传感器,半导体气体传感器

新闻资讯详情 上图为采用cmos和mems工艺研发的气体传感器及其
高约300-800mw,不易实现大规模布设,而mems气体传感器的功耗低于60mw
反映出国内气体传感器行业和企业已经经历了功能材料,电子陶瓷,mems
iote国际物联网展合肥微纳传感技术有限公司专注mems气体流量传感器与
产品展示 mems传感器是基于微型加热器的气体传感器,通过lift-off