12英寸晶圆"在mems制造中,工艺尺寸缩小与流程复用很多时候并不适用
英飞凌销售的mems声学传感器晶圆
mems芯片晶圆 图片来源:受访者供图
mems器件近红外检测技术
晶圆,芯片.jpg
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