干法刻蚀,干法刻蚀机

微纳加工技术湿法腐蚀与干法刻蚀
干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的主要方法.
干法刻蚀流程示意图刻蚀是使用化学或者物理方法有选择地从硅片表面
加速特征相关(fd)干法刻蚀的工艺发展
干法刻蚀可分为三种不同类型.