光刻结构,光的结构

经过有序的多次光刻工序叠加,最终把立体的电路结构制作在半导体基片
光刻 过程的 示意图
光刻主要类型 图源:作者自制
process)是下至纳米尺度,上至毫米尺度微结构加工工艺的通称
芯片光刻的流程详解