退火炉退火工艺曲线
那么应先正火再球化退火;正火与退火工艺相比,其主要区别是正火的冷却
低温球化退火工艺曲线
背景技术:在集成电路制造过程中,对晶圆进行退火处理时常见的处理工艺
热处理的退火是什么意思?
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