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精曜科技高效异质结hjt电池 量产关键设备-pecvd与rpd
pvd镀膜工艺简介ppt
tco镀膜设备:rpd设备商包括日本住友,台湾精耀,pvd设备商包括梅耶博格
1)对衬底的低轰击损伤,镀膜过程中粒子能量小,几乎不存在高能粒子
该款设备提供了多种选项,包括各种冷阱,相邻镀膜腔工艺气氛隔绝和加热
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