磁控溅射镀膜工艺对溅射靶材的要求较高,如尺寸,平整度,纯度,各项杂质
磁控溅射
真空磁控溅射技术理论示意图
磁控溅射镀膜工艺介绍
磁控溅射法制造燃料电池电解质
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