离子溅射设备结构示意图,原子结构示意图

图 离子束溅射镀膜机结构示意
溅射式离子泵结构示意图
一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机的制作方法
溅射镀膜及观察设备简图
cn106835017b_基于氮离子源的离子束反应溅射沉积设备及氮化铝薄膜