化学气相沉积,电化学沉积

化学气相沉积 cvd 气体 气体
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化学气相沉积cvd原理及其薄膜制备
金属薄层结构相变驱动均质多层六方氮化硼化学气相沉积生长
两种化学气相沉积系统示意图.