半导体工艺,集成电路工艺

溅镀,光刻,刻蚀,离子注入,以及封装等上百道特殊的工艺步骤,半导体
制作薄膜,其中金属层和ito层由pvd制作, 绝缘层,半导体层等由cvd制作
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半导体发展的必由之路cmp工艺重要性提升百亿产业链深度解析附股