上海微电子装备公司生产中国最好的光刻机,填补光刻机空白
从90nm飞跃式突破:上海微电子第一台28nm国产光刻机
光刻机---上海微电子装备(集团)股份有限公司
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壮丽70年 | 上海微电子:国产光刻机孵出中国芯 登上智能制造业珠峰
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