化学气相沉积炉,化学气相沉积

微波等离子化学气相沉积系统
设备组成:化学气相沉积系统由管式炉,供气系统,真空机组组合而成.
化学气相沉积设备cvd小型管式lpcvd设备
化学气相沉积炉
等离子体增强化学气相沉积系统(pecvd)