一种用于化学气相沉积的装置以及化学气相沉积方法制造方法及图纸
化学气相沉积炉
一种化学气相沉积炉制造技术
cn202415687u_一种能实现上,下进气切换的化学气相沉积炉失效
微波等离子体化学气相沉积装置
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