气相沉积,物理气相沉积

2 物理气相沉积(pvd)
3 化学气相沉积(cvd)
非晶合金薄膜通常如何制取一文了解物理气相沉积技术
两种化学气相沉积系统示意图.
东华大学廖耀祖教授课题组jmca在气相沉积制备共轭微孔聚合物单原子