气相沉积法,化学气相沉积法

两种化学气相沉积系统示意图.
等离子体增强化学气相沉积制备六方氮化硼及其杂化结构的方法技术
化学气相沉积法制备碳纳米管
化学气相沉积的介绍
化学气相沉积 cvd 气体 气体