MEMS压力传感器,液压压力传感器

mems传感器结构示意图 (图片来源:sandia)
圣地亚哥国家实验室圆片级硅基mems压力传感器
科技 电子/电路 mems器件及其封装相关2ppt mems压力传感器的发展 (1
预计2017年mems压力传感器将在汽车领域占主.
最新mems和传感器技术 @ 2014慕尼黑上海电子展