co2激光器(左)和光纤激光器(右)的激光波长对比
单纵模激光器
co2激光打标机
3,euv光源必须使用20kw以上功率的mopa二氧化碳激光器去激发液体锡粒
及其消耗;电光转换率高达40%,远远高于co2激光器不到10%的转换率
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