极紫外光刻机,极紫外光

6亿欧元 asml第一季度售出7台极紫外光刻机
asml首台全新极紫外光刻机已交货
具体来说,就是 euv (极紫外光源)光刻机.
科普:光刻机是什么?为什么各国那么重视?
目前世界上最顶级的光刻机为euv光刻机,光源采用了极紫外光刻,波长