极紫外光刻机,极紫外光

1.2亿美元7纳米极紫外线光刻机,工作时像看科幻片一样
业内最先进的asml的euv(极紫外光刻)设备(蔡司光学系统)则使用的波段
极紫外线光,而目前美国在高端光刻机的光源系统这块处于全球垄断地位
euv光刻机
△euv极紫外光刻机 来源:anandtech