光刻蚀,刻蚀

结构,然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底(硅晶圆)上
化学刻蚀制备ktiopo4单晶薄膜的方法技术,薄膜激光刻蚀机专利_技高网
16年耗资20亿,一举拿下1538项专利,造出国产顶级刻蚀机
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学术干货│寻根究底——等离子刻蚀技术