湿法刻蚀,干法刻蚀

浙江氮化镓材料刻蚀平台 广东省科学院半导体研究所供应
一种在氧化硅湿法刻蚀中降低硅损伤的方法技术
随着mems研究的深入,电化学刻蚀研究显得越来越重要
蚀刻主要分前后段,刻蚀技术按工艺分类可分为湿法刻蚀与干法刻蚀
5代湿法刻蚀机