单晶炉结构,单晶炉设备

单晶炉系统包括基座,坩埚提升旋转机构,主炉室(下炉室),翻板阀,副炉
cn112746311a_一种基于plc的单晶炉水冷系统
半导体单晶炉-单晶炉机械结构
半导体单晶炉-单晶炉机械结构
半导体工艺设备之单晶炉