mems振镜,mems传感器图片

一文学会mems激光雷达振镜选型
封装上无需其它外部零件(而电磁式mems扫描振镜封装需要组装额外的
mems激光雷达的核心光束操纵元件为mems微镜(或称为mems微振镜,mems
mems微振镜-在混合固态激光雷达领域从"不为所知"到"落地开花".pdf
沈文江介绍说,mems扫描微镜也叫振镜,微镜沿着x,y两个方向扫描,可以