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和逻辑芯片一样,mems芯片的生产也分为两种模式,一种是如博世这样的
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华润微:idm功率半导体龙头!芯片设计,晶圆制造,封装测试
敏芯股份在mems麦克风领域的市场占有率已位
生物mems技术是用mems技术制造的化学/生物微型分析和检测芯片或仪器