硅片键合技术
硅片键合集成硅砷化镓和氮化镓
倒装芯片键合技术ppt
并在硅波导和键合区之间刻蚀一硅阻挡墙;然后,在soi硅片的键合区内,从
硅片键合集成硅砷化镓和氮化镓
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