各向异性刻蚀,

与 110>方向相准直的掩膜的(100)面硅片放到 各向异性刻蚀剂中的时候
华林科纳反应离子蚀刻的实用方法报告|刻蚀|金属|等离子体_网易订阅
刻蚀剖面:刻蚀后图形的侧壁形状 各向同性 各向异性 各向异性对
gan深刻蚀:刻蚀深度6-8μm左右各向异性刻蚀
了单晶蓝宝石材料在浓硫酸与磷酸混合溶液中的各向异性湿法刻蚀特性