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各向异性刻蚀
各向异性刻蚀,
半导体微器件刻蚀过程研究报告
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又叫深层反应离子刻蚀工 艺(drie,是一种极好的各向异性的高速刻蚀硅
光刻与等离子体刻蚀技术
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