光栅尺内部结构,

发明了直线电机光栅尺气浮轴承组合驱动装置,在线自动对焦,在线电池
液压夹紧装置,纵向进给电动机,中心架体,滑枕,润滑装置,丝杠,光栅尺
三坐标测量机的基本组成 测量机一般由主机(包括光栅尺,电气系统
实验三 超声波传感器测距实验 实验四 数字光栅尺测位移实验 实验五
测量机一般由主机(包括光栅尺,电气系统,软件系统及侧头组成,如下图