掩结构,结构

一种光刻机垂向微动结构和控制方法技术
利用145nm宽的al o 介质膜,采用自收缩掩模工艺实现亚3nm结构的
[0033]图2图示了根据本发明的一实施例的掩模板的截面结构示意图
cn107068731b_像素排列结构,显示面板,显示装置和掩模板有效
超精细结构的光学测量系统