8英寸碳化硅晶圆,这么难的吗|sic|半导体|单晶|半导体材料_网易订阅
一种制备碳化硅图形衬底的方法与流程
碳化硅单晶的制造方法和碳化硅基板与流程
碳化硅衬底
碳化硅衬底及其制造方法
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