电子束曝光机,

高电压电子束曝光系统
微光刻与电子束光刻技术(北京大学暑期班讲义版)ppt
raith电子束光刻机ebpg 5150(设备价值1498万)
图1 电子束曝光系统结构简图电子束曝光系统按照曝光方式分为失量扫描
成套电子束光刻系统