电子束光刻技术,电子束曝光系统

微光刻与电子束光刻技术(北京大学暑期班讲义版)ppt
并行电子束可用于光刻与检测领域在芯片检测方面发展空间大
具体来说,光刻机是采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过
电子束光刻系统与工艺pdf51页
纳米级电子束光刻技术及icp深刻蚀工艺技术的研究-中国科学杂志社.pdf