磁控溅射法,

磁控溅射镀膜工艺介绍ppt
一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统技术方案
镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法
磁控溅射原理ppt
梯度自掺杂纯相多元金属氧化物薄膜的磁控溅射制备方法与流程