溅射法原理,磁控溅射原理

cn106835017b_基于氮离子源的离子束反应溅射沉积设备及氮化铝薄膜
磁控溅射介绍ppt
磁控溅射技术与应用
sputter磁控溅射原理图 资料来源:新型tco材料在光伏行业的应用前景
磁控溅射技术原理及应用简介