离子刻蚀,离子束刻蚀

紫外光束 离子刻蚀去除剩余的光刻胶 图1.离子束刻蚀示意图 2
对战百亿巨头拉姆研究半导体刻蚀赛场中微公司赶超的底气何在
学术干货│寻根究底等离子刻蚀技术
图9 离子束刻蚀产生侧壁再沉积层示意图(a)刻蚀产生
mems湿法刻蚀和干法刻蚀的比较