离子刻蚀,离子束刻蚀

接触孔版反应离子刻蚀磷硅玻璃.ppt
离子束刻蚀速率影响因素 a.被刻蚀材料种类 b.离子能量 c.
将掩膜版上的图形 转移到硅片表面的 光敏薄膜上 刻蚀 离子注入(掺杂
高精度深硅刻蚀如何实现答案在这里
一种利用离子注入结合化学刻蚀制备ktiopo4单晶薄膜的方法技术