薄膜集成电路,集成电路

膜集成电路又分类厚膜集成电路和薄膜集成电路.
薄膜无源集成技术
(1)粒子遮挡膜:随着集成电路密度和芯片尺寸的不断增大,其抗辐射的
将电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜(thin-film)集成
一种大尺寸集成电路晶圆与铁电单晶薄膜集成工艺的