MEMS气体传感器,半导体气体传感器

新闻资讯详情 上图为采用cmos和mems工艺研发的气体传感器及其
高约300-800mw,不易实现大规模布设,而mems气体传感器的功耗低于60mw
s型mems平面微弹簧垂直弹性系数
下一代小型化低功耗气体传感器的mems技术平台
产品展示 mems传感器是基于微型加热器的气体传感器,通过lift-off