MEMS气体传感器,半导体气体传感器

手机的价值主张 mems和传感器的用途
图为mems可燃气体传感器
tdk推出的全球首款直接mems气体传感器tce-11101
这种附加于智能手机的微流体组件利用微机电系统(mems)传感器,可执行
voc气体传感器模块ags01db空气质量传感器mems工艺