MEMS气体传感器,半导体气体传感器

mems气体传感器简介
mems传感器的分类答:mems气体流量传感器:高精度,检测流量范围广
制造与封装"短板"待补 mems传感器或迎新机遇
mems原理sf6传感器_气体_测量_浓度
超材料结合mems,使得光学气体传感器更小更强更经济