化学气相沉积原理图,化学气相沉积法原理图

金属有机化学气相沉积系统构造示意图(来源:aixtron)
ecr_rf双功率源等离子体化学气相沉积制备类金刚石薄膜的研究
两种化学气相沉积系统示意图.
等离子体增强化学气相沉积-pecvd
金刚石薄膜的化学气相沉积工艺