印度国家物理实验室indu sharma课题组--通过低压化学气相沉积法分压
cn106337170a_等离子体化学气相沉积装置以及成膜方法在审
化学气相沉积法制备超纳米金刚石薄膜
微波等离子体化学气相沉积—— 一种制备金刚石膜的理想方法
② 化学气相沉积(cvd)
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