mems器件,MEMS器件

mems器件阵列(如图,中央的正方体组件)
高于集成电路增速 深迪抢占百亿级市场 相关机构显示:中国mems器件
mems光学器件memsoxc光交叉互连开关
典型薄膜型压电器件:avago fbar芯片(左),vesper压电式mems麦克风(中)
该mems传感器芯片可以很好地感测振动情况,在它旁边是被称为信号调理